“顶天立地”做科研——记中科院上海微系统与信息技术研究所所长王曦院士

    王曦院士展示他带领团队研发生产的光润无瑕、晶莹透剔的“三明治”SOI圆片。穿上净化服、戴上口罩、经过强风的“风淋”后，记者走进了上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室。

    展现在眼前的是一个摆满了高科技仪器设备的洁净世界，许多穿着净化服、戴着口罩的科研人员，在不同的机器之间穿梭忙碌。

    这里是我国最先进的高端硅基集成电路晶圆片材料SOI研发平台，也是中科院上海微系统与信息技术研究所所长王曦院士为之奋斗十多年的地方。 新华社记者 刘颖 摄